某半导体制造基地2600平方米生产车间内,精密仪器持续运转产生的热量与人员作业产生的湿热负荷叠加,夏季室内温度常突破35 ℃ 。这种高温环境直接影响光刻、蚀刻等核心工艺的稳定性,传统中央空调系统因控温精度不足、能耗偏高,始终无法满足半导体生产车间±1℃的温控要求。
半导体生产车间整体控温降温,应用工业蒸发冷省电空调卧式射流机
项目工程经理通过实地勘测与热负荷计算,为该车间量身定制分布式温控解决方案。19台蒸发冷省电空调 -卧式射流机被科学分布于车间四周墙壁上 ,设备选用低风阻射流送风结构机型,通过6 米/秒的平抛气流实现远距离温度覆盖,避免冷风直吹操作岗位造成不适。机组搭载的智能控制系统可根据实时温度自动调节 30%-100% 输出功率。
设备运行测试阶段,专利蒸发冷凝技术展现显著优势。循环水在多层波纹湿帘表面形成均匀水膜,空气穿过时发生等焓加湿降温,此过程可降低进风温度5-8℃。预冷后的空气进入全封闭涡旋压缩系统,通过电子膨胀阀实现 0.1℃精度调节,最终经特殊设计的导流风口以层流形式均匀覆盖生产区域。十分钟后,分布车间各处的温湿度传感器显示,整体温度从 35℃ 平稳降至 24.4℃。
实际运行数据显示,该系统综合能效比达到4.2。设备群组通过变频技术实现智能联动,根据生产节奏动态调整制冷量输出,单日峰值用电量较改造前下降37% 。全封闭式机组具备IP54 防护等级,有效阻隔粉尘侵入,其搭载的降噪组件使运行噪声实测值保持在65分贝以下。
半导体生产车间整体控温降温,应用工业蒸发冷省电空调卧式射流机
客户非常满意验收结果,特别指出蒸发冷省电空调-卧式射流机
设备
在洁净室环境中表现出色 ,温湿度控制精度完全满足半导体生产工艺要求。后期追踪表明,持续运行期间设备维护成本降低40% 。这项解决方案不仅解决了高精度制造环境控制难题,更通过能源效率提升为企业创造可观经济效益,为工业制冷领域提供可借鉴的绿色转型范例。